Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“. Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas. 2000.
ЭПИТАКСИЯ — (от греч. epi на и taxis расположение, порядок), ориентированный рост одного кристалла на поверхности другого (подложки). Различают гетероэпитаксию, когда в ва подложки и нарастающего кристалла различны, и г о м о э п и т а к с и ю… … Физическая энциклопедия
эпитаксия газофазная — Термин эпитаксия газофазная Термин на английском metalorganic vapour phase epitaxy Синонимы Аббревиатуры MOVPE Связанные термины гетероэпитаксия, гомоэпитаксия, нановискер, химическое осаждение из паров металлорганических соединений, эпитаксия… … Энциклопедический словарь нанотехнологий
Газофазная эпитаксия — Газофазная эпитаксия получение эпитаксиальных слоев полупроводников путём осаждения из паро газовой фазы. Наиболее часто применяется в технологии кремниевых, германиевых и арсенид галлиевых полупроводниковых приборов и интегральных… … Википедия
Epitaxie bei reduziertem Druck — mažaslėgė epitaksija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. reduced pressure epitaxy vok. Epitaxie bei reduziertem Druck, f rus. эпитаксия при пониженном давлении, f pranc. épitaxie à pression réduite, f … Radioelektronikos terminų žodynas
mažaslėgė epitaksija — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. reduced pressure epitaxy vok. Epitaxie bei reduziertem Druck, f rus. эпитаксия при пониженном давлении, f pranc. épitaxie à pression réduite, f … Radioelektronikos terminų žodynas
reduced-pressure epitaxy — mažaslėgė epitaksija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. reduced pressure epitaxy vok. Epitaxie bei reduziertem Druck, f rus. эпитаксия при пониженном давлении, f pranc. épitaxie à pression réduite, f … Radioelektronikos terminų žodynas
épitaxie à pression réduite — mažaslėgė epitaksija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. reduced pressure epitaxy vok. Epitaxie bei reduziertem Druck, f rus. эпитаксия при пониженном давлении, f pranc. épitaxie à pression réduite, f … Radioelektronikos terminų žodynas
CVD-процесс — Плазменная установка ускоряет рост углеродных нанотрубок в лабораторной установке PECVD. CVD процесс (англ. Chemical vapor deposition химическое парофазное осаждение) хим … Википедия
Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы — Химическое осаждение из газовой фазы с использованием металлорганических соединений (анг. Metalorganic chemical vapour deposition) метод получения материалов, в том числе эпитаксиального роста полупроводников, путём термического разложения… … Википедия
